HMS-901AH智能光刻烤胶机、硅精片高精度加热板带有负压功能，表面带有若干吸附孔，可使被加热材料与加热板表面紧密贴合，起到受热均匀效果。

HTL-350光刻烤胶机(晶圆烤胶机)板表面温度均匀，温度100℃以内，精度0.1~0.3°C，200℃以内，精度%0.5℃,可选带有保温盖，整个加热区形成一个保温腔，大大提高温度均匀度，也起到防尘作用。

晶圆烤胶机(烘胶台)具有自动进气功能、过温保护功能、超温报警功能，计时功能，已获得CE认证证书、实验更安全、方便。

烤胶机厂家的光刻烤胶机(恒温加热)可选带有保温盖，整个加热区形成一个保温腔，大大提高温度均匀度，也起到防尘作用；机器可选择带有负压功能，表面带有若干吸附孔，可使被加热材料与加热板表面紧密贴合，起到受热均匀效果。

晶圆烤胶机(光刻)可选择具有负压功能，表面设有若干吸附孔，可使被加热材料与表面紧密贴合，从而达到受热均匀效果。

晶圆烤胶机(光刻)超快速加热技术可使温度以每秒5°C的速度增加，板表面温度均匀，温度100℃以内，精度0.1~0.5°C，200℃以内，精度1℃。