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晶圆烤胶机(光刻)特性:
1、增强红外线加热技术
2、过温保护功能、超温报警功能,计时功能,已获得CE认证证书、实验更安全、方便
3、加热输出功率:1000W
4、板面温控:室温~300℃
5、温控模式:LED数显温度自由设定
6、温度测试:内置温控与外置温控可切换
7、温度控制精度:±0.1~0.5℃
8、工作尺寸:240×240mm
9、加热区:200×200mm
10、产品外形尺寸:400×280×120mm
11、板面材质:纳米陶瓷镀层加热面板
12、可选择具有负压功能,表面设有若干吸附孔,可使被加热材料与表面紧密贴合,从而达到受热均匀效果
13、晶圆烤胶机(光刻)带有保温盖,整个加热区形成一个保温腔,大大提高温度均匀度,也起到防尘作用
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