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晶圆烤胶机是光刻工艺中常备的重要设备?
发布时间:2026-01-19

晶圆烤胶机(又称光刻胶烘烤机、热板烤胶机)的核心功能是对涂覆光刻胶的晶圆进行准确温度烘烤,实现光刻胶溶剂蒸发、固化交联与应力释放,本质是一款“专为光刻工艺设计、高精度温控的晶圆热处理设备”。其核心作用围绕“光刻胶优化、工艺稳定性保障、图形精度支撑”展开,贯穿光刻流程关键环节。多阶...

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    2024-03-08
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